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助力實現(xiàn)無磨損晶圓輸送
XPlanar 系統(tǒng)是一款集傳統(tǒng)輸送技術(shù)諸多優(yōu)點于一身的平面磁懸浮產(chǎn)品輸送系統(tǒng)，可在半導體設(shè)備制造中為在一個工具內(nèi)以及在幾臺設(shè)備之間處理晶圓及其它產(chǎn)品提供了各種全新的選擇：XPlanar 系統(tǒng)的動子/托盤運動是非接觸式的，不會產(chǎn)生機械磨損。
針對特定應(yīng)用布局機器設(shè)備
XPlanar 系統(tǒng)為用戶根據(jù)自己的個性化需求布局機器設(shè)備提供了很大的自由度。XPlanar 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面，比如矩形、圓形或樹狀結(jié)構(gòu)，幾乎無任何限制。機器設(shè)備的布局可以完全根據(jù)用戶要求的功能設(shè)計，XPlanar 系統(tǒng)的大小可以完全根據(jù)用戶的要求調(diào)整，幫助用戶避免額外的費用支出，節(jié)省寶貴的生產(chǎn)空間。
柔性無磨損工件輸送系統(tǒng)
動子托盤按照單獨定義的路線輸送每個工件。各個生產(chǎn)步驟可以根據(jù)需要相互銜接，使得固定的工位序列成為過去。每個動子托盤的運動相互間可以完全解耦：產(chǎn)品可以相互超車，并且可以在不影響生產(chǎn)流程的情況下從產(chǎn)品流中撤出或進入等候區(qū)（例如，用于冷卻）。由于在一個系統(tǒng)中提供了不同尺寸的動子托盤，因此可以同時生產(chǎn)不同規(guī)格的產(chǎn)品。XPlanar 系統(tǒng)具有卓越的動態(tài)性能和機器人的高精度，是處理不同批量大小和產(chǎn)品規(guī)格變化的高效定位系統(tǒng)。動子托盤根據(jù)為每個產(chǎn)品單獨定義的復雜 XY 幾何圖形運動。
大幅減少清潔和維護工作量
XPlanar 系統(tǒng)的一大特點就是它能夠大幅減少清潔和維護工作量。與傳統(tǒng)的輸送系統(tǒng)相比，XPlanar 不需要使用導軌、滑輪或潤滑系統(tǒng)。系統(tǒng)所需的定期維護間隔時間大幅減少，從而可以顯著提高系統(tǒng)的可用性。系統(tǒng)的另外一個優(yōu)勢是：所有平面模塊和動子托盤表面都非常光滑，沒有死角。為了在特別苛刻的環(huán)境中使用，XPlanar 平面模塊的表面可以選擇玻璃、不銹鋼或者塑料材質(zhì)，方便清潔，無需使用任何清潔劑，也不會影響動子托盤的懸浮性能。
關(guān)于德國倍福
倍福（Beckhoff）是一家專注于自動化新技術(shù)的德資企業(yè)，創(chuàng)立于 1980 年，總部位于德國威爾市。作為全球自動化技術(shù)的驅(qū)動者，倍福定義了自動化領(lǐng)域的許多標準，是國際標準的制定者和推動者。公司所生產(chǎn)的工業(yè) PC、現(xiàn)場總線模塊、驅(qū)動產(chǎn)品和 TwinCAT 自動化軟件構(gòu)成了一套完整的、相互兼容的控制系統(tǒng)，可為各個工控領(lǐng)域提供開放式自動化系統(tǒng)和完整的解決方案。經(jīng)過 40 年的發(fā)展和努力，倍福已在世界各地設(shè)立 30 多家分支機構(gòu)，加上全球的合作伙伴，業(yè)務(wù)遍及 70 多個國家和地區(qū)。
倍福于 1997 年進入中國市場，中國區(qū)總部落戶于上海市北高新產(chǎn)業(yè)園區(qū)，現(xiàn)有員工 300 人，辦事處遍及國內(nèi) 30 座大中城市。創(chuàng)新產(chǎn)品和解決方案廣泛應(yīng)用于風力發(fā)電、半導體、光伏太陽能、電子制造、金屬加工、包裝機械、印刷機械、塑料加工、輪胎加工、木材加工、玻璃機械、物流輸送以及樓宇自動化等眾多領(lǐng)域。
公司傾力推廣的 EtherCAT 實時工業(yè)以太網(wǎng)于 2014 年成為中國國家推薦性標準，并已入編工信部的《國家智能制造標準體系建設(shè)指南》。作為一家技術(shù)驅(qū)動型公司，倍福一直注重在技術(shù)上尋求突破創(chuàng)新，在業(yè)內(nèi)享有“創(chuàng)新引擎”的美譽。倍�；� PC 的控制技術(shù)具有良好的開放性，它支持所有主流的工業(yè)通信協(xié)議，將 IT 技術(shù)、互聯(lián)網(wǎng)和自動化技術(shù)完美融合在一起，為實現(xiàn)工業(yè) 4.0 和智能制造奠定了堅實的技術(shù)基礎(chǔ)。
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