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陳光桃 中達(dá)電通成都分公司
摘要：本文主要描述了臺(tái)達(dá)電源在光刻機(jī)上的良好應(yīng)用。光刻機(jī)由于嚴(yán)格的使用環(huán)境及對(duì)電源性能的特殊要求，使電源的選擇顯得非常慎重。光刻機(jī)在使用臺(tái)達(dá)電源后，完全達(dá)到了設(shè)備的設(shè)計(jì)要求，也將臺(tái)達(dá)電源優(yōu)異功能展現(xiàn)得淋漓盡致。
關(guān)鍵字：臺(tái)達(dá) 導(dǎo)軌式 電源 光刻機(jī)
引言：在電子行業(yè)高速發(fā)展的今天，工業(yè)設(shè)備的精密度不斷得到提高，與此同時(shí)最終用戶對(duì)產(chǎn)品本身的性能也提到了新的高度，這就給設(shè)備廠家在元器件選擇方面提出了更高的要求。而在電源的使用上目前工業(yè)設(shè)備在低壓電源方面使用上有平板和導(dǎo)軌兩種安裝方式，而兩種不同的安裝方式也對(duì)應(yīng)不同的性能指標(biāo)。導(dǎo)軌式電源優(yōu)異的性能，與生具來的導(dǎo)軌緊湊式安裝方式，也越來越得到各個(gè)設(shè)備廠家的青睞！臺(tái)達(dá)導(dǎo)軌式電源也應(yīng)運(yùn)而生，滿足了廣大用戶的要求。
一、光刻機(jī)設(shè)備介紹
激光標(biāo)刻機(jī)的核心部件是YLM系列單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊，主要為免維護(hù)的OEM應(yīng)用面設(shè)計(jì)。YLM二極管泵浦光纖激光通過一條帶有金屬護(hù)套的單模光纖傳導(dǎo)光束直徑為1.07微米，接近衍射極限（M 2＜1.05）高質(zhì)量激光束， 高可靠性的直流電源在SCAPS公司專用控制卡的控制下驅(qū)動(dòng)單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊、單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊發(fā)出的970±10nm的激光被耦合到加金屬護(hù)套的5mm傳輸光纖中使摻鐿雙包層光纖中產(chǎn)生1.06微米波長(zhǎng)的激光，激光在傳輸過程中不斷被放大后擴(kuò)束輸出。擴(kuò)束后的激光束投射到振鏡掃描器上，通過計(jì)算機(jī)控制振鏡快速轉(zhuǎn)動(dòng)及激光的開關(guān)，使激光束在X、Y方向掃描，通過F-θ透鏡聚集形成幾微米直徑的光斑作用于加工工件上，使之表面瞬間燒蝕，最后在件表面形成需要的各種圖形符號(hào)。 1、整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，與進(jìn)口貼片分選設(shè)備充分兼容，接口直接配合、簡(jiǎn)單易用。
2、基礎(chǔ)配置，采用進(jìn)口Fiber（光纖）小功率風(fēng)冷激光器，高速振鏡掃描系統(tǒng)，打印準(zhǔn)確精致。
3、激光打印系統(tǒng)控制核心，Laser Marking System購(gòu)筑在Windows XP平臺(tái)上，控制軟件采用SCAPS軟件，控制卡采用高速USB2.0控制輸入，性能卓越穩(wěn)定，使用操作簡(jiǎn)便，并可根據(jù)客戶的需求，隨時(shí)升級(jí)程序。
4、根據(jù)客戶需求，可實(shí)現(xiàn)脫機(jī)運(yùn)行操控，一臺(tái)電腦主機(jī)操作多臺(tái)激光打印終端，標(biāo)刻終端由PDA操控。
5、國(guó)內(nèi)首創(chuàng)，更小巧，更靈活。
6、直接編輯印章和同時(shí)打印多種規(guī)格印章，自動(dòng)記數(shù)功能，隨意設(shè)置標(biāo)刻數(shù)量及統(tǒng)計(jì)所標(biāo)記管子總數(shù)，設(shè)置數(shù)值高達(dá)十億位數(shù)。
光刻機(jī)圖片
  
光刻機(jī)雕刻樣品圖片
二、臺(tái)達(dá)電源在光刻機(jī)上成功應(yīng)用
1、電壓要求
光刻設(shè)備工作電壓為直流28V，臺(tái)達(dá)最大輸出直流電壓為28V，完全符合使用要求。
2、使用方式要求
需要有正負(fù)28V電源輸出，第一個(gè)電源正端與第二個(gè)電源的負(fù)端共地使用，而且兩個(gè)輸出相互之間不能互擾。
3、電源體積要求
由于設(shè)備整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小的要求，所以要求電源等各種元器件能夠盡量的小巧，不占用更多的空間。臺(tái)達(dá)電源采用導(dǎo)軌式，呈扁平型，尺寸為：126x32x113，安裝占用空間非常小，得到設(shè)備廠家和最終用戶的一致認(rèn)可。
4、電源穩(wěn)定度要求
由于光刻機(jī)激光光束需要高可靠性的直流電源，所以在電源的穩(wěn)定性和紋波上要求非常嚴(yán)格。臺(tái)達(dá)電源直流輸出電壓殘余波< 50 mV，波峰切換(20MHz) (在正常值) < 240 mVpp，體現(xiàn)了良好的輸出特性。
5、電磁干擾
由于激光雕刻機(jī)是一個(gè)精密的設(shè)備，其電壓的好壞直接影響激光的穩(wěn)定程度，也就直接影響光刻效果，所以其電磁防護(hù)等級(jí)要求也非常高。不僅自己不能夠被外界電磁干擾，以免輸出電壓精度不高，同時(shí)自身也不能夠產(chǎn)生干擾，以免干擾其他設(shè)備的正常工作。臺(tái)達(dá)電源通過了EMC及防干擾認(rèn)證，很好的保證了現(xiàn)場(chǎng)使用的要求。
綜上所述，雖然光刻機(jī)設(shè)備對(duì)電源的使用提出了十分高的要求，但是臺(tái)達(dá)電源以優(yōu)越的性能很好的解決了實(shí)際過程中遇到的各種難題，把各種任務(wù)完成得非常的漂亮，由于完美的表現(xiàn)也贏得了客戶的一片贊譽(yù)！當(dāng)然，良好的表現(xiàn)源于良好的硬件功夫，臺(tái)達(dá)電源有此卓越的表現(xiàn)，也是源于臺(tái)達(dá)電源有很多優(yōu)異的硬件指標(biāo)參數(shù)和特點(diǎn)，下面列出了臺(tái)達(dá)的基本參數(shù)及特點(diǎn)。
三、臺(tái)達(dá)導(dǎo)軌式基本參數(shù)及特點(diǎn)
1、基本參數(shù)
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過載保護(hù) |
有 |
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過壓保護(hù) |
有 |
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過熱保護(hù) |
有 |
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功率提升 |
提升到150%可持續(xù)1秒 |
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MTBF |
>300K小時(shí) |
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預(yù)期壽命 |
10年 |
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輸出保持時(shí)間 |
>20ms(115V,滿載) |
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冗余 |
有 |
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保質(zhì)期 |
3年 |
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輸入規(guī)格 |
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輸入電壓范圍 |
90~264V |
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輸入頻率 |
47~63HZ |
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最大輸入電流 |
1.7A(230V) |
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效率 |
>86% |
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功率因數(shù) |
EN61000-3-2 STD. |
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最大沖擊電流 |
<50A(230V) |
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漏流 |
<1mA(240V) |
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輸出規(guī)格 |
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輸出電壓范圍 |
22~28V |
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波紋噪聲電壓 |
<240mV(85~264V輸入) |
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輸出電流 |
2.5A |
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輸入變動(dòng) |
<0.5%(85~264V輸入，滿載) |
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負(fù)載變動(dòng) |
<1%(額定輸入，0~滿載) |
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機(jī)械設(shè)計(jì) |
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噪音 |
<40dBA |
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尺寸 |
126×32×113mm(L×W×H) |
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冷卻 |
空氣對(duì)流 |
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輸入端 |
M4*3 |
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輸出端 |
M4*2 |
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底托橫檔 |
TS35標(biāo)準(zhǔn) |
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耐沖擊 |
IEC 60068-2-27 |
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抗振 |
IEC 60068-2-6 |
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防護(hù)結(jié)構(gòu) |
EN60950 (根據(jù)IP20) |
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安全 |
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EMC\放射性 |
B級(jí)／EN55022;CISPR22,B級(jí);FCC TITLE 47;EN1204-3(B級(jí)[AC]和A級(jí)[DC]) |
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免疫力 |
EN61000-4-2,1995; EN61000-4-3,1998; EN61000-4-4,1995; IEC61000-4-5,1995; EN61000-4-6,1996; IEC61000-4-12或 IEEE C62.41; EN61000-3-3,1994 |
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認(rèn)證 |
UL508,EN60950,CULUS60950,EN50178,EN60204,GS |
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電壓暫降 |
EN61000-4-11 |
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耐壓 |
輸入到輸出:3KV;輸入到地:1.5KV;輸出到地:500V |
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產(chǎn)品環(huán)境條件 |
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工作溫度 |
"-20~+70度" |
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保存溫度 |
"-25~+85度" |
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工作濕度 |
<95% |
2、特點(diǎn)
全球適用 AC輸入電源
保護(hù)特性：短路／過載／過壓／內(nèi)部電涌
空氣冷卻
可安裝 DIN 標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)軌 TS-35/7.5或15
絕緣等級(jí) I
高效率 >86%
100%滿負(fù)荷燒機(jī)測(cè)試
連接器方向設(shè)定易于識(shí)別輸入和輸出連接器
連接器類型方便連接電纜和易維修
全鋁合金 (AL5052) 或塑料外殼符合IEC60068-2 規(guī)格。
經(jīng)得起高沖擊和震動(dòng)環(huán)境。
高附加價(jià)值（高功能與價(jià)格比例）
國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證
符合RoHS規(guī)格
易安裝
三年保質(zhì)期
四、結(jié)束語
國(guó)內(nèi)市場(chǎng)電子設(shè)備行業(yè)的飛速發(fā)展，以及技術(shù)不斷的洗舊革新，無非是要提高設(shè)備的效率與穩(wěn)定性，設(shè)備的穩(wěn)定性源于高可靠性的器件。而設(shè)備供電電源是設(shè)備非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，因而對(duì)電源的性能勢(shì)必提出了更高的要求。如寬輸入出電壓范圍，良好的保護(hù)功能等等功能需求會(huì)顯得越來越迫切，臺(tái)達(dá)低壓電源源于臺(tái)達(dá)集團(tuán)優(yōu)秀的電源技術(shù)開發(fā)能力、優(yōu)異的品質(zhì)與良好的電源世界第一品牌形象，響應(yīng)了市場(chǎng)日異變化的需求，抓住了市場(chǎng)商機(jī)，也使得用戶在電源的選擇上更加能夠得心應(yīng)手，推陳出新！臺(tái)達(dá)電源，真是在方寸之間彰顯精彩！
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