http://m.007sbw.cn 2021-02-24 11:53
SK海力士(SK Hynix)為打造全自動(dòng)化的半導(dǎo)體工廠,表示提升設(shè)備業(yè)者的軟件技術(shù)極為重要,同時(shí)強(qiáng)調(diào)需在預(yù)測(cè)解決方案方面進(jìn)行合作。Theelec報(bào)導(dǎo),SK海力士TL鄭有仁(音譯)在SEMICON Korea會(huì)議中指出,SK海力士300mm晶圓廠的自動(dòng)化位在第3~4階段。為邁向第5階段,需與設(shè)備業(yè)、學(xué)界等進(jìn)行合作。
自動(dòng)化工程分成1~5個(gè)階段,數(shù)字愈高自動(dòng)化水平愈高,第5階段為全自動(dòng)化。鄭有仁透露,大多數(shù)最新的半導(dǎo)體廠正在打造3~4階段自動(dòng)化作業(yè)??勺詣?dòng)完成多項(xiàng)作業(yè),無需人員監(jiān)控。在良率和生產(chǎn)效率方面,與人類表現(xiàn)相似。
其中,「預(yù)測(cè)」是實(shí)現(xiàn)智能工廠的最終關(guān)卡。以精準(zhǔn)預(yù)測(cè)為基礎(chǔ),可提升生產(chǎn)效率、良率,減少費(fèi)用等。鄭有仁指出,在半導(dǎo)體自動(dòng)化工程中,通過AI、數(shù)字孿生(Digital Twin)技術(shù)的預(yù)測(cè)解決方案將變得更為重要,可解決半導(dǎo)體自動(dòng)化工程中出現(xiàn)的各種問題,如Cue-time排程、OHT(OverHead Transport)路徑設(shè)置。
Cue-time是指規(guī)定每項(xiàng)工程的開始和結(jié)束時(shí)間,若超出時(shí)間限制,將影響良率及質(zhì)量表現(xiàn),因此Cue-time排程極為重要。為達(dá)自動(dòng)化,SK海力士最近正在利用AI進(jìn)行研究,但尚未得到令人滿意的結(jié)果。OHT路徑設(shè)定則是將晶圓按照工藝順序,自動(dòng)運(yùn)送到設(shè)備室,SK海力士目前正在利用數(shù)字孿生開發(fā)自動(dòng)化技術(shù),并推進(jìn)模擬開發(fā)作業(yè),致力于提高預(yù)測(cè)精準(zhǔn)度。
為邁向智能廠房第5階段,在優(yōu)化算法的同時(shí),預(yù)測(cè)精確度也至關(guān)重要。鄭有仁表示,為準(zhǔn)確預(yù)測(cè)工作時(shí)間和路徑,需提高半導(dǎo)體設(shè)備的軟硬件技術(shù)。SK海力士將通過與業(yè)界及學(xué)界的合作,在智能工廠第5階段的良率和生產(chǎn)性方面,達(dá)到預(yù)期目標(biāo)。