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業(yè)內(nèi)首款多場(chǎng)成像相機(jī),為多領(lǐng)域檢測(cè)降低能耗并提供高質(zhì)量圖像

http://m.007sbw.cn 2022-04-08 10:44 來源:Teledyne e2v

  如果您是一位從事平板顯示器、印刷電路板(PCB)或半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)的工程師,一定了解圖像質(zhì)量、檢測(cè)速度、以及降低機(jī)械振動(dòng)的影響等因素對(duì)于企業(yè)生產(chǎn)來說有多么重要!尤其是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)具有集成度高、精細(xì)度高的特點(diǎn),是機(jī)器視覺技術(shù)最早大規(guī)模應(yīng)用和應(yīng)用較為成熟的領(lǐng)域。

  目前在檢測(cè)領(lǐng)域有較大突破的當(dāng)屬多場(chǎng)(Multifield)成像技術(shù),可以在一次掃描中使用各種照明條件(例如明場(chǎng)、暗場(chǎng)和背光)捕獲多個(gè)圖像。近日,機(jī)器視覺產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CMVU)公布的2021機(jī)器視覺創(chuàng)新產(chǎn)品TOP10產(chǎn)品中就有多場(chǎng)成像技術(shù)的身影。

  Teledyne 申報(bào)的Linea HS 16K Multifield 相機(jī)利用不同波長(zhǎng)的光源,一次掃描即可同時(shí)捕獲最多三幅圖像。電荷轉(zhuǎn)移 CMOS TDI 傳感器采用 16k x (64+128+64) TDI 陣列和 5x5 μm 像素尺寸,利用先進(jìn)的晶圓級(jí)二向色濾光片鍍膜,具有最小的光譜串?dāng)_,用光譜隔離方法實(shí)現(xiàn)三幅圖像成像。這款相機(jī)配有高速 CLHS 接口,通過單根長(zhǎng)光纖電纜可實(shí)現(xiàn)高達(dá)每秒 84 億像素的傳輸速度。

  Linea HS 16K Multifield 相機(jī)

  產(chǎn)品特點(diǎn):

  *一次掃描即可同時(shí)捕獲三幅不同場(chǎng)圖像

  *133 kHz x 3 的高速行頻

  *高靈敏度多陣列 TDI

  *雙向掃描

  *輔助對(duì)齊標(biāo)記

  創(chuàng)新的多場(chǎng)成像技術(shù)

  多場(chǎng)(Multifield)成像是一種新的成像技術(shù),可在單次掃描中,在各種照明條件下(例如亮場(chǎng)、暗場(chǎng)和背光)捕獲多幅圖像。通過在不同的照明條件下同時(shí)拍攝多幅圖像的能力,為檢查提供了寶貴的信息。通過亮場(chǎng)照明,可以檢測(cè)面板表面上的許多主要缺陷。然而,在正面觀察時(shí),一些缺陷可被掩蓋。因此,通過暗場(chǎng)照明,相機(jī)可以識(shí)別額外的表面缺陷。這是因?yàn)檫@兩種方法的光源角度不同。當(dāng)光線從采用暗場(chǎng)照明的相機(jī)反射出去,這可能意味著有劃痕或其他表面缺陷。此外,通過背光照明,可實(shí)現(xiàn)清晰的邊緣檢查,因?yàn)闊艄鈱?shí)現(xiàn)與面板邊緣的顯著對(duì)比。對(duì)于玻璃和其他半透明材料,背光可幫助識(shí)別表面上不允許光線通過的微粒。

  傳統(tǒng)彩色成像與多場(chǎng)成像之間的區(qū)別在于濾光片技術(shù)。傳統(tǒng)的彩色濾光片在RGB通道之間具有顯著的光譜串?dāng)_,而Multifield濾光片具有最小的光譜串?dāng)_。

  多場(chǎng)景檢測(cè)應(yīng)用

  相機(jī)顯著提升了檢測(cè)速度和圖像質(zhì)量。它無需多次掃描,因此提高了檢測(cè)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)通量并增強(qiáng)了可檢測(cè)性,同時(shí)最大限度減少了機(jī)械振動(dòng)的影響。

  Linea HS 非常適合用于以下應(yīng)用:

  *平板顯示器、印刷電路板 (PCB) 和半導(dǎo)體晶片檢測(cè);

  對(duì)于平板檢查,Linea HS Multifield相機(jī)提供了16k高分辨率,用于在面板經(jīng)過相機(jī)時(shí)對(duì)整個(gè)面板進(jìn)行成像。與一次捕獲整個(gè)矩形圖像的區(qū)域掃描相機(jī)不同,當(dāng)面板在視野中移動(dòng)時(shí),Linea HS Multifield相機(jī)一次捕獲一條條紋。因此,當(dāng)面板在生產(chǎn)過程中移動(dòng)時(shí),無需停止即可成像。此外,Linea HS Multifield相機(jī)不需要像在短曝光下捕獲圖像的區(qū)域掃描相機(jī)那樣,需要很多的照明。當(dāng)物體在生產(chǎn)過程中快速移動(dòng)時(shí),區(qū)域掃描相機(jī)可能需要大量照明才能正確捕獲圖像。

  通過上述每種照明方法,Linea HS Multifield相機(jī)可為其他制造應(yīng)用(如PCB和晶圓生產(chǎn))提供類似的檢查性能。通過選擇從銳角、上方和下方照明,可以為在生產(chǎn)過程中被檢查的物體提供圖像,用于反映不同角度的可見問題。這些不同的照明方法提供了與對(duì)許多產(chǎn)品進(jìn)行三維檢查相當(dāng)?shù)囊暯?。因此,使用Linea HS Multifield相機(jī),機(jī)器視覺應(yīng)用可以產(chǎn)生比使用標(biāo)準(zhǔn)成像系統(tǒng)多得多的細(xì)節(jié)。

  *薄膜、金屬箔Web 檢測(cè);

  *通用機(jī)器視覺和生命科學(xué)應(yīng)用。

  *這款相機(jī)還可用于使用白光源進(jìn)行彩色成像。二向色濾光片的光譜具有獨(dú)特的顏色表征,可用于增強(qiáng)可檢測(cè)性。

  2021年10月,據(jù)Teledyne官宣,Linea™ HS 16k Multifield TDI 相機(jī)已批量生產(chǎn)。Linea HS 16k Multifield相機(jī)顯著提高了檢查速度。這意味著降低了制造過程中檢查部分的能耗。通過使用更少的硬件,企業(yè)在進(jìn)行制造的過程中,消耗更少,并進(jìn)一步降低能耗。

  在檢查過程中,Linea HS 16k Multifield相機(jī)還顯著提高了圖像質(zhì)量,并且為企業(yè)和消費(fèi)者生產(chǎn)出更高質(zhì)量的材料和產(chǎn)品。在這個(gè)過程的早期,圖像質(zhì)量的顯著改善也意味著減少材料浪費(fèi)。

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