產(chǎn)品簡介
薄膜電容壓力傳感器PPM-T750的測量原理是通過檢測電容變化從而得到真空度變化，能夠精確測量出超低的真空，可以測量0.018Pa～200Pa、1Pa～1kPa、10Pa～10kPa 、100Pa～100kPa 、1kPa～1Pa的真空（絕對）壓力，以及0~-100kPa的負(fù)壓。輸出信號可選擇0-5VDC或0-10VDC或4-20mA電流信號。接液部分采用抗腐蝕材料，可以測量腐蝕性氣體。過程連接可選擇快卸法蘭，直管插入等幾種方式。準(zhǔn)確度高達(dá)0.25%FS，是實(shí)驗(yàn)室研究開發(fā)、工藝室、半導(dǎo)體過程工具及設(shè)備、各類真空包裝真空蒸餾等設(shè)備。
產(chǎn)品特點(diǎn)
溫度補(bǔ)償范圍寬
EMI抗電磁干擾
長期穩(wěn)定性好
外型結(jié)構(gòu)小巧緊湊
工作壽命長
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體處理室、半導(dǎo)體晶片的處理、裝載腔等
石油化工
生物制藥
吸收式制冷機(jī)
真空包裝
冷凍干燥設(shè)備
真空蒸餾
技術(shù)參數(shù)
尺寸圖
