SuperViewW白光干涉三維輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：
表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；
幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。
產(chǎn)品特點
1、干涉物鏡
不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。
2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可有效隔離地面?zhèn)鲗У恼駝釉肼暋?/p>
3、聲波隔振防護
儀器外殼與內(nèi)部運動機構(gòu)采用了分離式設(shè)計，有效隔離了聲波振動的傳導。
4、水平調(diào)整裝置
傾斜調(diào)整旋鈕，調(diào)整條紋寬度，提高3D圖像的重建精度。
5、便攜式操縱桿
采用人體工程學設(shè)計，集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動控制，并配有緊急停止按鈕。
6、真空吸附臺
專為半導體晶圓片定制的真空吸附臺，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像。
7、3D重建算法
自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達亞納米級別。
自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro
Xtremevision Pro
全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機型，可自主識別機型種類，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。
Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對微觀平面輪廓尺寸的點、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量。
自動化mark點識別坐標定位自動化功能
Mark點影像識別自動坐標位置校正，多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量。
自動拼接功能
SuperViewW白光干涉三維輪廓儀支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導航功能，可自定義測量區(qū)域，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量。
應(yīng)用領(lǐng)域圖片
SuperViewW白光干涉三維輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
部分技術(shù)指標
| 型號 |
W1 |
| 光源 |
白光LED |
| 影像系統(tǒng) |
1024×1024 |
| 干涉物鏡 |
標配：10×
選配：2.5×;5×;20×;50×;100×
|
| 光學ZOOM |
標配：0.5×
選配：0.375×;0.75×;1×
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| 物鏡塔臺 |
標配：3孔手動
選配：5孔電動
|
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XY位移平臺
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尺寸 |
320×200㎜ |
| 移動范圍 |
140×100㎜ |
| 負載 |
10kg |
| 控制方式 |
電動 |
| Z軸聚焦 |
行程 |
100㎜ |
| 控制方式 |
電動 |
| Z向掃描范圍 |
10 ㎜ |
| 主機尺寸（長×寬×高） |
700×606×920㎜ |
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