超精密加工這個(gè)行業(yè)覆蓋面比較廣，包括航空航天上用到精密零部件，包括金屬、陶瓷片和石英制的精密器件，大多數(shù)由于要求在檢測(cè)過程中不能劃傷器件表面，因此在檢測(cè)方式上需要采用非接觸式的方式。而單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量。
白光干涉儀實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量。
中圖儀器SuperViewW1金屬表面粗糙度檢測(cè)儀器是非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件，測(cè)量速度快，不必作探頭半徑補(bǔ)正，對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀測(cè)粗糙度可以對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、平面度、面形輪廓、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、表面缺陷、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
自動(dòng)拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結(jié)構(gòu)，當(dāng)必須測(cè)量超出適配鏡頭下的單視場(chǎng)區(qū)域時(shí)，都可以采用自動(dòng)拼接，而中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓儀測(cè)粗糙度，可根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成“天衣無縫”的3D全景。
自動(dòng)拼接功能
金屬片磨損分析
金屬光滑凹面輪廓測(cè)量
