JKZC-DSH系列雙面探針臺
|產(chǎn)品概要
JKZC-DSH系列雙面探針臺是我司自主研發(fā)的一款雙面探針臺,最大可完成12英寸晶圓的正反面點(diǎn)針測試。在具備常 規(guī)探針臺的功能基礎(chǔ)上,可用于晶圓和PCB板的測試,對晶圓或者PCB板正面和背面同時扎針以實現(xiàn)各種 光/電性能測試需求的測試,或背面點(diǎn)針,正面收集光線等,運(yùn)用十分豐富。該定制探針臺具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng),穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),符合人體工程學(xué),以及多項升級功能。此設(shè)備在激光器,LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試等 方面得到了廣泛運(yùn)用。如果您的產(chǎn)品也有雙面點(diǎn)針,或者背面點(diǎn)針的需求,此款產(chǎn)品。
|技術(shù)特點(diǎn)
•雙層設(shè)計,可正反面同時點(diǎn)針,可同時加載DC和RF信號;
•卡盤大手柄雙驅(qū)動,省時,省力,省心,可升級360度快速移動;
•加厚級剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計,領(lǐng)先的內(nèi)部防震技術(shù),結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
I詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號
技術(shù)參數(shù)
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JKZC-DSH6
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JKZC-DSH8
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JKZC-DSH12
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臺體
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主體材料
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航空鋁
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航空鋁
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航空鋁
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整機(jī)尺寸(mm)
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750L*550W*680H
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800L*580W*680H
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930L*700W*680H
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重量
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85kg
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100kg
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160 kg
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卡盤大小
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6" ,360度轉(zhuǎn)動,可微調(diào)
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8",360度轉(zhuǎn)動,可微調(diào)
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12",360度轉(zhuǎn)動,可微調(diào)
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卡盤XY軸行程
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6"*6",精度 10um
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8"*8",精度 10um
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12"*12",精度 10um
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卡盤Z軸行程
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快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米
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卡盤材質(zhì)
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高透射玻璃或者鏤空
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固定方式
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機(jī)械式壓片固定或者真空吸附,尺寸可調(diào)
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其他功能
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帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù),可升級
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針座平臺
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類型
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雙面點(diǎn)針平臺,單個平臺最多■可放置8個JKZC-DR/L-100探針座
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材質(zhì)
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U型平臺,Q235鍍鎳,帶接地端子,帶接地端子
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正面光學(xué)系統(tǒng)
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顯微鏡類型
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體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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倍率范圍
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16X~200X/40X~280X/20X~4000X
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顯微鏡行程
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具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸,精度lum
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CCD成像系統(tǒng)
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2k或者4K相機(jī),幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
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背面光學(xué)系統(tǒng)
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顯微鏡類型
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L型單筒顯微鏡
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倍率范圍
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0.75X-5X
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顯微鏡行程
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40X-280X (可選高倍物鏡增加倍率)
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CCD成像系統(tǒng)
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21<或者4K相機(jī),幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
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探針座
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種類
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絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座
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XYZ行程
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12.5 mm-12.5 mm-12.5 mm
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機(jī)械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夾具
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漏電精度
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同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA
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接口形式
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同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
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其它
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選件
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屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動
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電力需求
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220W50HZ
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