JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺
產(chǎn)品概要
JKZC-DCHH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在極端環(huán)境下給樣品加載電學信號的設(shè)備�？梢詫崿F(xiàn) 器件及材料表征的IV/CV特性測試，射頻測試，光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷，可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料，半導體器件等研究方向具有廣泛運用。
極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程 泵的運轉(zhuǎn)。
高溫無氧化測試:當晶圓加熱至300°C,400°C,500°C甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越 高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。
技術(shù)特點
-防輻射屏和熱沉設(shè)計；
•降溫速度快，常溫降至77k<25mins,大大提高測試效率；
•液氮自動控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度。
詳細參數(shù)
|
產(chǎn)品類型
|
低溫開循環(huán)
|
低溫閉循環(huán)
|
|
主體材料
|
航空鋁
|
航空鋁
|
|
型號
|
JKZC-JKZC-DCHH-196k
|
JKZC-JKZC-DCHH4k
|
|
外形
|
850*850*600mm
|
900*850*600mm
|
|
重・
|
約100kg
|
約150kg
|
|
電力需求
|
AC220V,50〜60HZ
|
AC380V,50~60HZ
|
|
腔體
|
腔體尺寸
|
8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗
|
|
樣品臺尺寸
|
2英寸/4英寸（鍍金）
|
2英寸（鍍金）
|
|
樣品固定方式
|
真空導熱硅脂/彈簧壓片
|
|
真空度
|
10A-5pa最高真空
|
|
接口形式
|
電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等
|
|
其它
|
帶防輻射屏和熱沉設(shè)計
|
|
溫控系統(tǒng)
|
制冷方式
|
液氮
|
壓縮機
|
|
溫控范圍
|
77K-473K （973k可選）
|
4.2K~450K
|
|
溫控精度和穩(wěn)定性
|
土 0丄度/±0丄度
|
|
降溫速度
|
常溫降到77k優(yōu)于25mins
|
常溫降到：10k優(yōu)于180mins
|
|
控制方式
|
液氮自動流量控制
|
壓縮機控制
|
|
光學系統(tǒng)
|
顯微鏡類型
|
體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
|
體式/單筒顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
|
|
倍率范圍
|
16X~200X/40X~280X/20X 〜2000X
|
16X-200X/40X-280X
|
|
移動范圍
|
水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm調(diào)焦，帶萬向支架
|
|
真空腔觀察窗尺寸
|
4inch
|
4inch
|
|
CCD像素
|
2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
|
|
探針臂
|
探針臂數(shù)・
|
最多6個
|
|
X¥Z行程
|
50mm-25mm-25mm
|
|
點針精度
|
10微米/2微米
|
|
漏電精度
|
同軸夾具10pA/三軸夾具100 fA
|
|
接口形式
|
三軸/SMA/K/光纖接口
|
|
|
頻率范圍
|
JKZC-DCH-67G
|
|
探針
|
探針直接
|
lum~100um 可選
|
|
材質(zhì)
|
磚鋼，披銅
|
|
真空系統(tǒng)
|
機械泵/分子泵組/離子泵
|
|
可選附件
|
防震桌，鍍金卡盤，氣敏測試組件等
|
|
應(yīng)用方向
|
高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等
|
