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■展會名稱：
NEPCON ASIA 2024 亞洲電子生產(chǎn)設(shè)備暨微電子工業(yè)展覽會（以下簡稱“亞洲電子展”）
■展會日期
2024年11月6 - 8日
■展館地點
中國·深圳國際會展中心(寶安)
■展位號
11號館-11A24
11月6日至8日，亞洲電子展將在中國·深圳國際會展中心（新館）舉辦。
當(dāng)前，半導(dǎo)體市場正經(jīng)歷空前增長，尤其是在3C消費電子、物聯(lián)網(wǎng)（IoT）、人工智能（AI）、汽車電子、5G通信、云計算等關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域。這使得電子半導(dǎo)體制造業(yè)面臨著復(fù)雜多樣的挑戰(zhàn)和機遇，對產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效率的標(biāo)準(zhǔn)提升到了新的高度。
正運動憑借多年來在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域的深耕，與客戶緊密合作，推出了一系列優(yōu)化生產(chǎn)工藝流程的運動控制解決方案，方案直接從工藝制造源頭優(yōu)化入手，減少生產(chǎn)缺陷，提高加工品質(zhì)和效率，助力客戶實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)和資源優(yōu)化配置，同時有效降低成本。
在此次展會上，正運動將展出一系列高性能運動控制產(chǎn)品，包括VPLC7系列機器視覺運動控制一體機、超高速PCIe EtherCAT實時運動控制卡和開放式激光振鏡運動控制器等，及其在實際應(yīng)用場景中的應(yīng)用案例。
誠邀各位蒞臨正運動11A24展位，共同探討電子半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的解決方案，助力電子半導(dǎo)體設(shè)備加速國產(chǎn)替代導(dǎo)入。
看點一：電子半導(dǎo)體設(shè)備運動控制解決方案
1.晶圓激光劃片機運動控制解決方案
(1)客戶訴求
- 加工質(zhì)量不足，傳統(tǒng)刀輪劃片因殘余應(yīng)力和機械損傷，導(dǎo)致晶圓芯片在切割過程中出現(xiàn)表面和背面崩裂、裂紋等缺陷，降低成品率。
- 耗材成本高，不同材料需頻繁更換刀輪，耗材成本高且增加了停機時間。
- 生產(chǎn)效率低，刀輪切割速度有限，無法滿足大批量生產(chǎn)和緊迫的交期要求。
(2)正運動解決方案
采用正運動技術(shù)的ZMC408SCAN-V22開放式激光振鏡控制器，實現(xiàn)非接觸式激光加工。通過高速振鏡改變激光束方向，達到高速高精度的晶圓激光劃片，適用于刀片難以處理的材料。具有材料損耗小，加工效率高，加工成本低等特點。
(3)工藝說明
通過調(diào)整紫外激光的能量和脈沖持續(xù)時間，來適應(yīng)不同加工材料，并通過振鏡軸與伺服軸聯(lián)動插補，來完成更精細燒蝕切割加工，避免了機械應(yīng)力和物理損傷，將整片晶圓進行分割。
(4)方案亮點
- 靈活兼容多種半導(dǎo)體材料，用戶可通過編輯晶圓激光切割工藝。
- 提供專用激光工藝API函數(shù)，支持多種圖形處理，提升加工精度與效率，簡化設(shè)計至生產(chǎn)流程。
- 高精度PSO，等間距輸出，提高切割質(zhì)量，減少次品率。
- 提供直觀易用的激光調(diào)試軟件，操作員輕松設(shè)定打標(biāo)激光參數(shù)，加快生產(chǎn)速度，縮短交期。
2.晶圓搬運機械手運動控制解決方案
(1)客戶訴求
隨著晶圓產(chǎn)量和尺寸的不斷增大，以及制造工藝線寬的持續(xù)縮小，晶圓制造設(shè)備廠商面臨著嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。
因此，如何在提高晶圓傳輸?shù)墓ぷ餍实耐瑫r，并提升定位精度和平穩(wěn)控制，來確保晶圓的平穩(wěn)、無損搬運，已成為各大晶圓制造設(shè)備廠商的首要任務(wù)。
(2)正運動解決方案
采用正運動技術(shù)的VPLC7系列機器視覺運動控制一體機，配合運動控制實時內(nèi)核MotionRT7與視覺采集系統(tǒng)等多個組件的協(xié)同作業(yè)，實現(xiàn)核間交互，指令調(diào)用速度比傳統(tǒng)的PCI/PCIe快10倍，整體設(shè)備產(chǎn)能可提升10%左右,實現(xiàn)高速高精的晶圓搬運機械手控制。
(3)工藝說明
在晶圓搬運過程中，機械手需完成從料盒到設(shè)備工位的晶圓傳輸。通過實時監(jiān)控機械手的軌跡、位置和姿態(tài)，結(jié)合機器視覺的精準(zhǔn)定位，精準(zhǔn)控制其速度和加速度，優(yōu)化操作順序和動作時間，以確保機械手以更高加速度穩(wěn)定傳輸，防止晶片滑動，降低對晶圓的機械應(yīng)力沖擊，減少晶圓破損風(fēng)險，提升生產(chǎn)效率和良率。
(4)方案亮點
- 支持平面關(guān)節(jié)型機械手（SCARA）和徑向直線運動（R.θ）型機械手，適用于各種晶圓機械手傳輸場景。
- 支持動態(tài)變速，平衡機械手的移動速度和精度，減少晶圓損傷和次品率。
- MotionRT7實時內(nèi)核提升指令調(diào)用速度，響應(yīng)更快，縮短搬運周期，提高生產(chǎn)效率。
- 軟硬件集成度高，集成機械手控制、機器視覺、工控機和I/O控制，簡化架構(gòu)，降低延遲和誤差，減少維護和故障率，降低運營成本，可替代傳統(tǒng)的機器人電柜箱、工控機、PLC等。
- 技術(shù)門檻低，拖拽式中文組態(tài)視覺，工程師簡單培訓(xùn)即可上手。
3.高速固晶機運動控制解決方案
（1）客戶訴求
- 如何同時滿足高速高精生產(chǎn)。
- 如何讓取晶和固晶動作更流暢、柔和，實現(xiàn)快速精準(zhǔn)的操作。
- 固晶機的操作流程復(fù)雜，需要多軸同步控制功能。
（2）正運動解決方案
采用正運動技術(shù)的高速高精，超高速PCIe EtherCAT實時運動控制卡XPCIE1032H，配合執(zhí)行機構(gòu)、高精度視覺采集硬件等核心組件的同步協(xié)作，能夠?qū)崿F(xiàn)高速高精的控制，并進行高效的數(shù)據(jù)交互，有效優(yōu)化行業(yè)傳統(tǒng)產(chǎn)線復(fù)雜工藝，提升固晶效率和品質(zhì)。
（3）工藝說明
將芯片從已切割好的晶圓上抓取下來，并吸取移動到固定在基板對應(yīng)的指定區(qū)域上，利用銀膠把芯片和基板粘接起來。通過采用正運動技術(shù)高速IO應(yīng)用和高精度運動控制控制功能，固精機高速高精地取晶、搬運、粘接、壓合、定位、連續(xù)固精等關(guān)鍵步驟。
（4）方案亮點
- EtherCAT同步周期最小可達125us，實現(xiàn)多軸高速高精運動控制。
- 力矩控制功能，控制吸放芯片的下壓力度，防止芯片壓壞變形。
- 可通過EtherCAT進行靈活擴展，實現(xiàn)多軸同步協(xié)調(diào)運動，提升生產(chǎn)效率。
- 運動控制實時內(nèi)核MotionRT7，實現(xiàn)核間交互，指令調(diào)用速度比傳統(tǒng)的PCI/PCIe快10倍，提高指令執(zhí)行效率，整體設(shè)備產(chǎn)能可提升8%左右。
- 內(nèi)置豐富的控制功能，如直線圓弧插補、連續(xù)軌跡、同步跟隨等，可在復(fù)雜工況下資源可以靈活配置，使取晶和固晶動作實現(xiàn)平穩(wěn)快速精準(zhǔn)的執(zhí)行。
4.半導(dǎo)體轉(zhuǎn)塔測試分選機運動控制解決方案
（1）客戶訴求
- 如何實現(xiàn)更高的測試和分選精度，提升產(chǎn)品質(zhì)量，降低次品率。
- 如何提高系統(tǒng)響應(yīng)速度，來提升整體運行效率，滿足大批量生產(chǎn)的要求，縮短生產(chǎn)周期。
- 如何確保各運動軸的精準(zhǔn)協(xié)調(diào)運動。
（2）正運動解決方案
采用正運動技術(shù)的高速高精，超高速PCIe EtherCAT實時運動控制卡XPCIE1032H，配合執(zhí)行機構(gòu)、高精度視覺采集硬件等核心組件的同步協(xié)作，能夠?qū)崿F(xiàn)高速高精的控制，并進行高效的數(shù)據(jù)交互，有效優(yōu)化傳統(tǒng)方案的工藝，提升測試分選效率和精度。
（3）工藝說明
芯片通過主轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)，被吸嘴依次送入各測試模塊，完成所有測試。通過采用正運動技術(shù)的同步控制、高速位置鎖存、視覺飛拍等功能，確保轉(zhuǎn)塔旋轉(zhuǎn)到指定位置時，準(zhǔn)確執(zhí)行測試和分選。在一個旋轉(zhuǎn)周期內(nèi)，可連續(xù)完成測試、檢查、收料、編帶等多個工序，使測試分選過程高效穩(wěn)定地運行，提高吞吐量。
（4）方案亮點
- 高速穩(wěn)定測試分選，產(chǎn)能可達：53Kpcs/小時，整體效率提升6%~20%以上。
- 高速的運動模式切換：可快速切換位置模式和速度模式，實現(xiàn)高精度的力控。
- EtherCAT同步周期最小可達125us，可控制多個吸嘴獨立上下高速運作，提升效率。
- 與傳統(tǒng)PC+運動控制卡方案相比，XPCIE1032H方案穩(wěn)定性更高，交互速率更快，提升速度可達10%。
- 可實現(xiàn)多工位同步視覺飛拍，可縮短機臺運行CT，提升設(shè)備的整體產(chǎn)能。
- 用戶可以根據(jù)方案需要自主分配IO信號和靈活擴展控制軸，滿足測試單元每種工藝需求，實現(xiàn)個性化定制。
5.半導(dǎo)體曝光機UVW運動控制解決方案
（1）客戶訴求
- 需要實現(xiàn)微米級的視覺對位精度，減少因?qū)ξ徊粶?zhǔn)導(dǎo)致的缺陷。
- 需要提升系統(tǒng)響應(yīng)速度，縮短生產(chǎn)周期，提高生產(chǎn)線的整體產(chǎn)能。
- 需要多軸同步控制，提高運行穩(wěn)定性。
（2）正運動解決方案
采用正運動技術(shù)的PCIE464M高速高精，超高速PCIe EtherCAT控制卡，配合UVW平臺等多個組件的協(xié)同作業(yè)，進行高速高精的對準(zhǔn)和曝光，減少因定位誤差導(dǎo)致的廢品率，優(yōu)化生產(chǎn)流程，降低生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)出質(zhì)量。
（3）工藝說明
曝光工藝是將底片圖形轉(zhuǎn)移到PCB基板上，類似復(fù)印機原理。底片通過PCB鉆孔定位，緊貼感光材料上。光源照射后，透光部分發(fā)生反應(yīng)，未透光部分通過顯影溶解，最終形成與底片上相同的圖形。然后再結(jié)合正運動技術(shù)UVW平臺運動控制、全系插補等算法和高精度CCD視覺對位系統(tǒng)，實現(xiàn)高速高精對位與曝光。
（4）方案亮點
- 支持UVW控制算法，配合高精度視覺采集系統(tǒng)進行視覺對位糾偏。
- 支持多軸同步控制，能夠處理更復(fù)雜的曝光加工工藝，提高整體運行速度和穩(wěn)定性。
- 最快支持EtherCAT控制周期125us。
- 采用標(biāo)準(zhǔn)PCIe總線接口，數(shù)據(jù)采集快，兼容性強。
- 統(tǒng)一的API函數(shù)接口，適用各種PC上位機語言開發(fā)，易于客戶集成到配備現(xiàn)有系統(tǒng)中，構(gòu)建高速高精的UVW視覺對位系統(tǒng)。
看點二：新品 ZMC432CL-V2 脈沖全閉環(huán)的32軸總線型運動控制器
1.產(chǎn)品介紹
ZMC432CL-V2是一款高性能運動控制器，具備高速實時反饋功能，支持脈沖全閉環(huán)控制，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高響應(yīng)速度的運動控制。該產(chǎn)品為精密光電設(shè)備等提供了簡單易用的開放式運動控制與激光振鏡控制平臺。
2.主要特點
（1）使用現(xiàn)成的API開發(fā)各種裝備
（2）步進電機的外置光柵尺全閉環(huán)解決方案
- ZMC4系列高效的網(wǎng)口讀寫，PCIe/PCI系列卡可共享內(nèi)存接口（共享內(nèi)存的批量讀寫3-5us）；
- 內(nèi)置反向間隙補償，雙向螺距補償，2D平面補償?shù)龋?
- 可以同時支持脈沖軸，EtherCAT軸運動與振鏡聯(lián)動的接口；
- 開放的PT/PVT接口客戶可自定義加減速算法的二次編程；
- ZMC432CL-V2可支持步進電機的外置光柵尺全閉環(huán)解決方案。
看點三：高性能運動控制產(chǎn)品分享
1.PCIE464M–高速高精，超高速PCIe EtherCAT控制卡
基于PCIe的EtherCAT總線運動控制卡，支持多軸同步控制，最快控制周期為100us。集成高速IO及多項實時運動控制功能,如高速色標(biāo)鎖存、PWM、多維PSO、視覺飛拍、速度前瞻等，可配合第三方圖像處理工控機或PC，無需額外配置IO數(shù)據(jù)采集卡和PLC即可實現(xiàn)IPC形態(tài)的機器視覺運動控制一體機，簡化硬件架構(gòu)，節(jié)省成本，軟硬件一體化。
2.XPCIE1032H–高速高精，超高速PCIe EtherCAT實時運動控制卡
搭載Windows運動控制實時內(nèi)核MotionRT7，完美解決傳統(tǒng)PCI/PCIe運動控制卡在Windows環(huán)境下控制系統(tǒng)的非實時性問題! 指令調(diào)用速度比傳統(tǒng)的PCI/PCIE快10倍，支持多軸同步控制，最快控制周期為125us。集成高速IO及多項實時運動控制功能,如高速色標(biāo)鎖存、PWM、多維PSO、視覺飛拍、速度前瞻等。
3.VPLC7系列機器視覺運動控制一體機
基于x86架構(gòu)的EtherCAT總線視覺運動控制器，支持脫機運行，內(nèi)置豐富的視覺和運動控制功能，大幅簡化配置流程，支持EtherCAT冗余功能。核內(nèi)數(shù)據(jù)交互速度快，顯著降低時間和成本投入，提高項目實施效率。安裝與拆卸過程便捷，占地空間小，能與其他控制單元部件（如伺服驅(qū)動器、傳感器等）和MES系統(tǒng)無縫集成。提供一體化開放式IPC形態(tài)的實時軟控制器/軟PLC集成的視覺+運動控制解決方案。
4.ZMC408SCAN-V22激光振鏡運動控制器
基于ZMC408SCAN-V22開放式激光振鏡控制解決方案主要應(yīng)用于高速標(biāo)刻、激光清洗、精密切割、精密焊接等非接觸式激光加工過程中，通過高速振動的鏡片來改變激光束的方向，實現(xiàn)高速高精的激光加工。廣泛應(yīng)用于高速高精的激光控制+振鏡控制+運動控制的激光加工場合。
在即將到來的2024亞洲電子展上，我們誠摯邀請您蒞臨展位（11號館11A24），一同體驗高速高精運動控制解決方案及其帶來的應(yīng)用。
展會期間，我們將安排專家咨詢服務(wù)，為您提供深入了解我們產(chǎn)品、技術(shù)和項目評估咨詢。
期待在展會上與您不見不散！
正運動技術(shù)專注于運動控制技術(shù)研究和通用運動控制軟硬件產(chǎn)品的研發(fā)，是國家級高新技術(shù)企業(yè)。正運動技術(shù)匯集了來自華為、中興等公司的優(yōu)秀人才，在堅持自主創(chuàng)新的同時，積極聯(lián)合各大高校協(xié)同運動控制基礎(chǔ)技術(shù)的研究，是國內(nèi)工控領(lǐng)域發(fā)展最快的企業(yè)之一，也是國內(nèi)少有、完整掌握運動控制核心技術(shù)和實時工控軟件平臺技術(shù)的企業(yè)。主要業(yè)務(wù)有：運動控制卡_運動控制器_EtherCAT運動控制卡_EtherCAT控制器_運動控制系統(tǒng)_視覺控制器__運動控制PLC_運動控制_機器人控制器_視覺定位_XPCIe/XPCI系列運動控制卡等等。
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