晶元抓取工藝觀測(cè)難點(diǎn)
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動(dòng)作捕捉難：常規(guī)觀測(cè)設(shè)備無(wú)法精準(zhǔn)捕捉機(jī)械臂毫秒級(jí)的運(yùn)動(dòng)細(xì)節(jié)。
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損傷難溯源：晶元抓取后易出現(xiàn)隱性崩缺，難以關(guān)聯(lián)振動(dòng)源。
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工藝優(yōu)化慢：缺乏全局運(yùn)動(dòng)軌跡與姿態(tài)參數(shù)，機(jī)械系統(tǒng)調(diào)優(yōu)依賴(lài)經(jīng)驗(yàn)試錯(cuò)。
深視智能的“解題思路”
面對(duì)晶元抓取過(guò)程 “快、精、微” 的特點(diǎn)，深視智能提出基于高速攝像技術(shù)的晶元抓取工藝優(yōu)化方案：
01 毫秒級(jí)動(dòng)態(tài)解析
精靈系列高速攝像機(jī)（型號(hào)：SH2-203）以2000fps高幀率，將機(jī)械臂吸盤(pán)取放晶元的過(guò)程拆解成連貫的慢動(dòng)作序列，工程師通過(guò)對(duì)高速視頻的逐幀分析，可直觀發(fā)現(xiàn)傳統(tǒng)方式難以察覺(jué)的動(dòng)態(tài)問(wèn)題。
02 高清畫(huà)質(zhì)清晰呈現(xiàn)
精靈系列高速攝像機(jī)以1920x1080高清分辨率，清晰記錄吸盤(pán)接觸形變、機(jī)械臂振幅及定位偏差等微觀特征，助力工程師清晰觀察晶元與吸盤(pán)接觸時(shí)的形變、晶元離地時(shí)的微小振動(dòng)、傳輸過(guò)程中的姿態(tài)穩(wěn)定性等關(guān)鍵細(xì)節(jié)。
03 數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)工藝升級(jí)
借助配套運(yùn)動(dòng)分析軟件，工程師可進(jìn)一步提取位移、速度、加速度等動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，為運(yùn)動(dòng)控制算法的迭代和機(jī)械系統(tǒng)的協(xié)同調(diào)優(yōu)提供有力的數(shù)據(jù)支撐，進(jìn)而提升半導(dǎo)體制造設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性與生產(chǎn)效率。
應(yīng)用價(jià)值
01 突破產(chǎn)線部署限制
深視智能精靈系列高速攝像機(jī)以72×72×89mm小巧體積和680g輕量化設(shè)計(jì)，可輕松嵌入設(shè)備密的集產(chǎn)線，貼近機(jī)械臂核心動(dòng)作區(qū)架設(shè)，捕捉晶元抓取、放置等關(guān)鍵動(dòng)作。
02 適配多場(chǎng)景觀測(cè)需求
精靈系列高速攝像機(jī)具備出色的環(huán)境適應(yīng)性：高效散熱系統(tǒng)確保控溫環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行；IP64級(jí)全密封防護(hù)及抗振動(dòng)設(shè)計(jì)有效抵御低塵與高強(qiáng)度振動(dòng)；全信號(hào)隔離與EMI抑制技術(shù)保障在高壓、強(qiáng)磁干擾下可靠工作。
03 大容量非易失存儲(chǔ)
精靈系列高速攝像機(jī)采用非易失性存儲(chǔ)介質(zhì)，斷電數(shù)據(jù)不丟失，大容量數(shù)據(jù)無(wú)需導(dǎo)出，配套軟件可對(duì)內(nèi)部存儲(chǔ)進(jìn)行可視化管理。
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深視智能精靈系列高速攝像機(jī)以1920x1080高清分辨率，清晰記錄吸盤(pán)接觸形變、機(jī)械臂振幅及定位偏差等微觀細(xì)節(jié)，幫助工程師精準(zhǔn)定位半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備工藝薄弱環(huán)節(jié)，為運(yùn)動(dòng)控制邏輯優(yōu)化、機(jī)械結(jié)構(gòu)調(diào)校提供可視化數(shù)據(jù)依據(jù)。
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