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某集成電路制造有限公司潔凈室自控系統(tǒng)項目
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項目簡介
----某集成電路制造(上海)有限公司是中國最大的半導體生產(chǎn)廠家之一。生產(chǎn)200mm (8 inch)的芯片,可達到密集程度0.25μm以下的工藝技能以滿足中國市場的巨大需求。
----作為專業(yè)的全集成自動化解決方案的提供者,我們憑著強大的技術實力與豐富的工程經(jīng)驗在激烈的競爭中贏得了此公司潔凈室自控系統(tǒng)工程的合約,提供了從設備到工程的一系列服務,包括提供基于分散過程控制系統(tǒng)的PCS7系統(tǒng),控制方案的選擇和控制功能的設計,系統(tǒng)編程,組態(tài),安裝,開車調(diào)試,工藝參數(shù)優(yōu)化,以及相關操作維護手冊編寫,培訓。系統(tǒng)總I/O點數(shù)超過2000點。項目于2001.3啟動,2001.12竣工。

系統(tǒng)結構
----PCS7作為一個富有競爭力的過程控制系統(tǒng),被用于此公司的凈化室項目中,兩個獨立的加工廠 (FAB1和FAB3B) 分別配備了一套PCS7系統(tǒng)?紤]到芯片加工廠連續(xù)生產(chǎn)的特性,我們采用了AS控制器冗余技術。分布式I/O模塊的應用,滿足了安裝及接線靈活性的需要。分布式I/O模塊由靈活的底板總線驅(qū)動,可帶電插拔。為了確保其的可靠性,同時也配備了Profibus的冗余通訊。UPS的應用解決了斷電問題。

控制策略
----芯片與生產(chǎn)設備本身對空氣的溫濕度非常敏感。為了維持潔凈室穩(wěn)定的環(huán)境,控制系統(tǒng)必須能自動識別變化。通過新風機低中效的過濾以及風扇過濾單元高效過濾,可以實現(xiàn)對凈室潔凈度的控制。利用變速風機可以進行壓力控制,潔凈室中穩(wěn)定的正壓是新風機和排氣系統(tǒng)共同作用的結果。
----為了更精確地控制濕度,我們采用了串級控制,從而克服了滯后現(xiàn)象。主環(huán)控制凈室的相對濕度,而副環(huán)主要控制送風系統(tǒng)的一些擾動,包括公用部分的一些不穩(wěn)定因素。在某一溫度下,為了保持空氣中一定的濕度,必須注意補給以保持空氣的絕對濕度。

項目突出點
----為盡快建立芯片生產(chǎn)線,所有的工作都幾乎在同時進行,那就意味著需要一支有經(jīng)驗的專業(yè)化工程隊伍。同時,由于半導體制造設備的巨大投資,以及生產(chǎn)線工人24小時不間斷的生產(chǎn)作業(yè),這些都要求控制系統(tǒng)必須有高度的可靠性。

系統(tǒng)優(yōu)勢
----考慮到半導體工業(yè)的特性與產(chǎn)品周期,西門子工業(yè)自動化有限公司為其配置了西門子具有高度靈活性,可靠性與一體化的PCS7過程控制系統(tǒng),實現(xiàn)集成數(shù)據(jù)管理,集成編程,組態(tài),集成通訊。
----采用的AS 414H/417H 是冗余的自動化系統(tǒng),由兩個獨立的中央處理單元組成,同步跟蹤被控對象,并通過CPU之間的數(shù)據(jù)線進行快速,直接的內(nèi)部數(shù)據(jù)交換。這兩個獨立的中央處理單元可以以冗余的方式接入工業(yè)以太網(wǎng),并有冗余的PROFIBUS-DP 接口連接I/O。一旦異常情況發(fā)生,故障搜索裝置啟動,受影響的單元停止,自動切入后備單元。


 

狀 態(tài): 離線

公司簡介
產(chǎn)品目錄
供應信息

公司名稱: 西門子(中國)有限公司
聯(lián) 系 人: 技術支持
電  話: 010-64731919
傳  真: 010-64731096
地  址: 北京市朝陽區(qū)望京中環(huán)南路7號 郵政信箱: 8543
郵  編: 100102
主  頁:
 
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