產(chǎn)品類別：氣體質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器
產(chǎn)品型號：SFC3000
產(chǎn)品特點(diǎn)：
－經(jīng)濟(jì)型，適合大的OEM
－全數(shù)字標(biāo)定，RS485接口
－精度：設(shè)定值的2%
－量程：0-200 sccm
－多種氣體標(biāo)定，可通過軟件切換N2/He/H2/Ar
應(yīng)用領(lǐng)域：
_分析儀器 _干刻（RIE/DRIE）
_生物技術(shù) _氣相色譜分析
_激光焊機(jī) _過程自動化
_真空鍍膜 _燃料電池
安裝尺寸
70*25*78（mm）
