作者：陳康
公司名稱：無錫市瑞達電子有限公司
摘要：本文主要介紹了本人對LOGO!控制器的認識和LOGO!控制器在半導體硅片腐蝕清洗中設備中的試用情況。
關鍵詞：微電子；LOGO!控制器；硅片腐蝕設備。
微電子技術正在悄悄走進航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防，也正在悄悄進入每一個家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我們的前人根本無法想象的。
微電子技術是一門綜合性很強的邊緣學科，自動化和計算機等技術發(fā)展，使硅片（集成電路）這種高技術產(chǎn)品的造價已降到十分低廉的程度。這樣就為電子計算機進入千家萬戶鋪平了道路。使我們的生活越來越現(xiàn)代化。
無錫市瑞達電子有限公司自1992年開始涉足微電子設備行業(yè)，憑借中國華晶電子集團這個國家微電子基地的優(yōu)勢和經(jīng)驗，對引進的國際先進設備，工裝夾具及引線框料盒（Magazine）等一系列產(chǎn)品進行消化吸收、改進研發(fā)，為無錫華潤微電子、紹興華越微電子、吉林華微股份等老牌微電子企業(yè)設計制造、改造多種專用設備、輔助設備、Magazine 等。 現(xiàn)已擁有硅片清洗機、雙槽清洗機、二氧化硅腐蝕機、去膠機、硅片光刻預處理系統(tǒng)（OAP）、高反壓玻璃電泳設備，爐管清洗機，料盒清洗機，甩干機等全自動、半自動半導體設備的設計制造能力，與國內(nèi)70多家微電子生產(chǎn)企業(yè)保持良好的業(yè)務合作關系，其中知名外商獨資、合資、臺資等大型企業(yè)達20多家。
本文主要介紹一種利用西門子LOGO!控制器控制的硅片鋁腐蝕清洗設備，能夠體驗西門子LOGO!控制器，本人是榮幸之至。之前無論是在學校里還是在工作中使用到的都是PLC，但是在實際工作中遇到很多控制器其實是沒有必要選擇功能強大的PLC的，簡單的邏輯控制器完全能夠勝任。這樣對設備的成本控制也是一個很大的幫助。在工控體驗網(wǎng)中發(fā)現(xiàn)西門子LOGO！控制器有給試用的機會，當時就迫不及待的注冊申請了。幸運的是，西門子LOGO！控制器體驗第二期中竟然就抽中了。還是非常感謝工控網(wǎng)和西門子LOGO!控制器給我這次機會！
在工作人員耐心的詢問了我試用的需求之后，很快就配置好了控制器快遞到我手中，收到快遞之后，發(fā)現(xiàn)了工作人員的工作細致之處，一起寄送的還有控制器與PC的通訊數(shù)據(jù)線和LOGO！控制器實訓教程，有了這兩個幫手，對體驗者來可以說是事半功倍了。
拿到產(chǎn)品首先是小巧的外觀吸引了我，操作員界面是一個背光顯示屏，詳細閱讀了實訓教程，對LOGO!控制器有了大概的了解。立即安裝LOGO!控制器的編程軟件，開始通電試用了。首先按照教程上的介紹進行了一些小的電路路的編程，下載到控制器中看一下控制器與PC的通訊是否正常，之后就是一個漫長的摸索階段了，先熟悉編程的方便，還有怎么能夠使用控制器附帶的操作界面，模擬量輸入輸出怎么使用，界面的的按鍵都是怎么使用的，畫面怎么編輯，畫面和控制程序怎么關聯(lián)，怎么能從界面上修改程序里使用的數(shù)據(jù)寄存器的數(shù)值，如果這些都能實現(xiàn)的話，這樣就剩下了外置定時器、計數(shù)器的費用了，結(jié)果還是很驚喜的，這些都可以實現(xiàn)，唯一覺的美中不足的就是LOGO！控制器的輸入輸出端子沒有外置的指示。
以下介紹LOGO!-0BA6控制器應用于腐蝕清洗設備—硅片鋁腐蝕清洗設備，介紹順序按照工作的順序進行：
一、系統(tǒng)原理：
該設備是用于6吋硅片鋁腐蝕清洗設備，處理能力為每槽1只6吋片架。具體功能如圖中所示：
按工藝處理順序如圖所示：
二、電氣原理圖和LOGO!控制器輸入輸出接線圖
按照系統(tǒng)原理設計電氣控制原理圖和LOGO!控制器輸入輸出端子接線圖如所示：
在這臺設備上主要是控制電磁閥的開關動作和電機啟動動作，輸入信號也多為開關量信號，還有使用到兩個固定模擬量輸出信號，主要用以驅(qū)動純水清洗槽兆聲啟動裝置，兆聲發(fā)生器的工作發(fā)出兆聲的功率由模擬量輸出模塊控制。以設備的原理和使用功能，這些動作對于簡單的邏輯控制器是完全能夠勝任的，還有就是LOGO!控制器的輸出電子能夠驅(qū)動10A的電流，這樣對于硬件配置又可以省下不少，這點和常用的PLC相比較有很大的優(yōu)勢所在。還有就是OBA6自帶的顯示屏，不僅僅可以對程序進行編輯，還可以顯示和修改程序內(nèi)部使用計數(shù)器和定時器的設定值，可以下外置人機界面或者是計數(shù)器或者定時器，因為現(xiàn)在的用戶是需要對設備中腐蝕的時間、批次和清洗的時間等自由更改，而這個對于LOGO！來說，它本身就全都解決了！
三、1，鋁腐蝕系統(tǒng)LOGO！控制器梯形圖程序截圖：
2，LOGO!控制器輸入輸出表：
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輸入端子
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信號名稱
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輸出信號
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信號名稱
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I1
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腐蝕槽啟動按鈕
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Q1
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腐蝕槽旋轉(zhuǎn)
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I2
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腐蝕槽復位按鈕
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Q2
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腐蝕槽提拉
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I3
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CDA壓力檢測
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Q3
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腐蝕槽加熱信號
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I4
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腐蝕液位壓力檢測
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Q4
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腐蝕槽排液信號
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I5
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腐蝕槽排液按鈕
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Q5
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報警塔燈紅色
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I6
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腐蝕槽加熱按鈕
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Q6
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報警塔燈黃色
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I7
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腐蝕槽液位溫度到
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Q7
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報警塔燈綠色
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I8
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腐蝕槽液位溫度異常
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Q8
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設備報警器
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I9
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腐蝕槽提拉高位
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AQ1
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兆聲發(fā)生器1
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I10
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腐蝕槽提拉低位
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AQ2
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兆聲發(fā)生器2
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I11
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兆聲輸出功率增加
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I12
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兆聲輸出功率減少
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3，信息文本顯示設置界面：
四、安裝調(diào)試
經(jīng)過以上的準備，就可以進行最終的安裝、布線、程序調(diào)試工作，調(diào)試時使用編程軟件的在線監(jiān)控功能還是很方便的。但是在調(diào)試中發(fā)現(xiàn)了控制器的一點不足之處就是沒有對應輸入輸出指示燈指示，雖然控制器本身的顯示屏上是可以查看到輸入輸出的狀態(tài)，但是還是沒有控制器本身上帶有硬件指示燈觀察方便。調(diào)試完成后進行了5天的老化試驗，控制器工作完全正常。
通過近兩個月的學習和摸索，對LOGO!有了一定的了解，也清楚的知道邏輯控制器和PLC的區(qū)別，知道了，其實在實際的工作中，很多控制系統(tǒng)LOGO!控制器就足夠了。只是在使用中不能向PLC一樣隨意使用內(nèi)部繼電器，所有要在有限的內(nèi)部繼電器情況下完成自己的設計目標。在使用的過程中也碰到了大大小小的很多問題，但最終都解決了，實現(xiàn)了自己的設計目的。
以上是個人的觀點，有很多的不足和缺點，望多多指教！
附電氣底板接線實物圖：
