作者：陳康
公司名稱：無錫市瑞達(dá)電子有限公司
摘要：本文主要介紹了本人對(duì)LOGO!控制器的認(rèn)識(shí)和LOGO!控制器在半導(dǎo)體硅片腐蝕清洗中設(shè)備中的試用情況。
關(guān)鍵詞：微電子；LOGO!控制器；硅片腐蝕設(shè)備。
微電子技術(shù)正在悄悄走進(jìn)航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防，也正在悄悄進(jìn)入每一個(gè)家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我們的前人根本無法想象的。
微電子技術(shù)是一門綜合性很強(qiáng)的邊緣學(xué)科，自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)等技術(shù)發(fā)展，使硅片（集成電路）這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價(jià)已降到十分低廉的程度。這樣就為電子計(jì)算機(jī)進(jìn)入千家萬戶鋪平了道路。使我們的生活越來越現(xiàn)代化。
無錫市瑞達(dá)電子有限公司自1992年開始涉足微電子設(shè)備行業(yè)，憑借中國華晶電子集團(tuán)這個(gè)國家微電子基地的優(yōu)勢和經(jīng)驗(yàn)，對(duì)引進(jìn)的國際先進(jìn)設(shè)備，工裝夾具及引線框料盒（Magazine）等一系列產(chǎn)品進(jìn)行消化吸收、改進(jìn)研發(fā)，為無錫華潤微電子、紹興華越微電子、吉林華微股份等老牌微電子企業(yè)設(shè)計(jì)制造、改造多種專用設(shè)備、輔助設(shè)備、Magazine 等。 現(xiàn)已擁有硅片清洗機(jī)、雙槽清洗機(jī)、二氧化硅腐蝕機(jī)、去膠機(jī)、硅片光刻預(yù)處理系統(tǒng)（OAP）、高反壓玻璃電泳設(shè)備，爐管清洗機(jī)，料盒清洗機(jī)，甩干機(jī)等全自動(dòng)、半自動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計(jì)制造能力，與國內(nèi)70多家微電子生產(chǎn)企業(yè)保持良好的業(yè)務(wù)合作關(guān)系，其中知名外商獨(dú)資、合資、臺(tái)資等大型企業(yè)達(dá)20多家。
本文主要介紹一種利用西門子LOGO!控制器控制的硅片鋁腐蝕清洗設(shè)備，能夠體驗(yàn)西門子LOGO!控制器，本人是榮幸之至。之前無論是在學(xué)校里還是在工作中使用到的都是PLC，但是在實(shí)際工作中遇到很多控制器其實(shí)是沒有必要選擇功能強(qiáng)大的PLC的，簡單的邏輯控制器完全能夠勝任。這樣對(duì)設(shè)備的成本控制也是一個(gè)很大的幫助。在工控體驗(yàn)網(wǎng)中發(fā)現(xiàn)西門子LOGO！控制器有給試用的機(jī)會(huì)，當(dāng)時(shí)就迫不及待的注冊(cè)申請(qǐng)了。幸運(yùn)的是，西門子LOGO！控制器體驗(yàn)第二期中竟然就抽中了。還是非常感謝工控網(wǎng)和西門子LOGO!控制器給我這次機(jī)會(huì)！
在工作人員耐心的詢問了我試用的需求之后，很快就配置好了控制器快遞到我手中，收到快遞之后，發(fā)現(xiàn)了工作人員的工作細(xì)致之處，一起寄送的還有控制器與PC的通訊數(shù)據(jù)線和LOGO！控制器實(shí)訓(xùn)教程，有了這兩個(gè)幫手，對(duì)體驗(yàn)者來可以說是事半功倍了。
拿到產(chǎn)品首先是小巧的外觀吸引了我，操作員界面是一個(gè)背光顯示屏，詳細(xì)閱讀了實(shí)訓(xùn)教程，對(duì)LOGO!控制器有了大概的了解。立即安裝LOGO!控制器的編程軟件，開始通電試用了。首先按照教程上的介紹進(jìn)行了一些小的電路路的編程，下載到控制器中看一下控制器與PC的通訊是否正常，之后就是一個(gè)漫長的摸索階段了，先熟悉編程的方便，還有怎么能夠使用控制器附帶的操作界面，模擬量輸入輸出怎么使用，界面的的按鍵都是怎么使用的，畫面怎么編輯，畫面和控制程序怎么關(guān)聯(lián)，怎么能從界面上修改程序里使用的數(shù)據(jù)寄存器的數(shù)值，如果這些都能實(shí)現(xiàn)的話，這樣就剩下了外置定時(shí)器、計(jì)數(shù)器的費(fèi)用了，結(jié)果還是很驚喜的，這些都可以實(shí)現(xiàn)，唯一覺的美中不足的就是LOGO！控制器的輸入輸出端子沒有外置的指示。
以下介紹LOGO!-0BA6控制器應(yīng)用于腐蝕清洗設(shè)備—硅片鋁腐蝕清洗設(shè)備，介紹順序按照工作的順序進(jìn)行：
一、系統(tǒng)原理：
該設(shè)備是用于6吋硅片鋁腐蝕清洗設(shè)備，處理能力為每槽1只6吋片架。具體功能如圖中所示：
按工藝處理順序如圖所示：
二、電氣原理圖和LOGO!控制器輸入輸出接線圖
按照系統(tǒng)原理設(shè)計(jì)電氣控制原理圖和LOGO!控制器輸入輸出端子接線圖如所示：
在這臺(tái)設(shè)備上主要是控制電磁閥的開關(guān)動(dòng)作和電機(jī)啟動(dòng)動(dòng)作，輸入信號(hào)也多為開關(guān)量信號(hào)，還有使用到兩個(gè)固定模擬量輸出信號(hào)，主要用以驅(qū)動(dòng)純水清洗槽兆聲啟動(dòng)裝置，兆聲發(fā)生器的工作發(fā)出兆聲的功率由模擬量輸出模塊控制。以設(shè)備的原理和使用功能，這些動(dòng)作對(duì)于簡單的邏輯控制器是完全能夠勝任的，還有就是LOGO!控制器的輸出電子能夠驅(qū)動(dòng)10A的電流，這樣對(duì)于硬件配置又可以省下不少，這點(diǎn)和常用的PLC相比較有很大的優(yōu)勢所在。還有就是OBA6自帶的顯示屏，不僅僅可以對(duì)程序進(jìn)行編輯，還可以顯示和修改程序內(nèi)部使用計(jì)數(shù)器和定時(shí)器的設(shè)定值，可以下外置人機(jī)界面或者是計(jì)數(shù)器或者定時(shí)器，因?yàn)楝F(xiàn)在的用戶是需要對(duì)設(shè)備中腐蝕的時(shí)間、批次和清洗的時(shí)間等自由更改，而這個(gè)對(duì)于LOGO！來說，它本身就全都解決了！
三、1，鋁腐蝕系統(tǒng)LOGO！控制器梯形圖程序截圖：
2，LOGO!控制器輸入輸出表：
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輸入端子
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信號(hào)名稱
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輸出信號(hào)
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信號(hào)名稱
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I1
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腐蝕槽啟動(dòng)按鈕
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Q1
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腐蝕槽旋轉(zhuǎn)
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I2
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腐蝕槽復(fù)位按鈕
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Q2
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腐蝕槽提拉
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I3
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CDA壓力檢測
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Q3
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腐蝕槽加熱信號(hào)
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I4
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腐蝕液位壓力檢測
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Q4
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腐蝕槽排液信號(hào)
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I5
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腐蝕槽排液按鈕
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Q5
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報(bào)警塔燈紅色
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I6
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腐蝕槽加熱按鈕
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Q6
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報(bào)警塔燈黃色
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I7
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腐蝕槽液位溫度到
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Q7
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報(bào)警塔燈綠色
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I8
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腐蝕槽液位溫度異常
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Q8
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設(shè)備報(bào)警器
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I9
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腐蝕槽提拉高位
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AQ1
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兆聲發(fā)生器1
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I10
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腐蝕槽提拉低位
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AQ2
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兆聲發(fā)生器2
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I11
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兆聲輸出功率增加
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I12
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兆聲輸出功率減少
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3，信息文本顯示設(shè)置界面：
四、安裝調(diào)試
經(jīng)過以上的準(zhǔn)備，就可以進(jìn)行最終的安裝、布線、程序調(diào)試工作，調(diào)試時(shí)使用編程軟件的在線監(jiān)控功能還是很方便的。但是在調(diào)試中發(fā)現(xiàn)了控制器的一點(diǎn)不足之處就是沒有對(duì)應(yīng)輸入輸出指示燈指示，雖然控制器本身的顯示屏上是可以查看到輸入輸出的狀態(tài)，但是還是沒有控制器本身上帶有硬件指示燈觀察方便。調(diào)試完成后進(jìn)行了5天的老化試驗(yàn)，控制器工作完全正常。
通過近兩個(gè)月的學(xué)習(xí)和摸索，對(duì)LOGO!有了一定的了解，也清楚的知道邏輯控制器和PLC的區(qū)別，知道了，其實(shí)在實(shí)際的工作中，很多控制系統(tǒng)LOGO!控制器就足夠了。只是在使用中不能向PLC一樣隨意使用內(nèi)部繼電器，所有要在有限的內(nèi)部繼電器情況下完成自己的設(shè)計(jì)目標(biāo)。在使用的過程中也碰到了大大小小的很多問題，但最終都解決了，實(shí)現(xiàn)了自己的設(shè)計(jì)目的。
以上是個(gè)人的觀點(diǎn)，有很多的不足和缺點(diǎn)，望多多指教！
附電氣底板接線實(shí)物圖：
